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多維測量精密微調平台。先建立了精密微調平台的數學分析模型,在此基礎上,通過優化設計获得了平台的優尺寸。使用有限元軟件驗證了理論建模和優化結果的正確性。制造了原型樣機,進行了實驗研究,對平台進行了標定,並分析了精密微調平台的定位誤差。
精密微调平台操作系统在生物工程、集成电路制造、微细加工、显微手术和光纤对接等土地具有广泛的应用前景 ,精密微调平台已成为前沿科学、工程技术土地的关键技术之一。现有的精密微调平台技术中,常选用滑动导轨或骨碌导轨组成的微位移定位机构,由于存在着较大的间隙和机械摩擦,精密微调平台定位精度很难达成很高要求。基于精密微调平台的微位移机构有免装配、无机械摩擦、无间隙、运动灵敏度高和加工简单等优点,近年来精密微调平台获得了广泛的应用。
在一些精密微调平台中,经常需要将物体偏转一个角度,以达成各种需求,如在大规模集成电路的制造中对晶片的定位不仅需要在X和Y两个方向调整,还需要调整绕Z轴的转角误差,甚至更多维的使用。
此多維精密微調平台是先對精密微調平台進行數學建模,得出其剛度、固有頻率和強度的計算表達式。在此基礎上,通過優化設計获得了精密微調平台的優尺寸。使用有限元軟件驗證了理論建模和優化結果的正確性。制造了原型樣機,進行了實驗研究,對精密微調平台進行了標定,並分析了精密微調平台的定位誤差。
比照客戶需求定制:
单轴(x y z轴的直线平台、旋转平台、弧线移动平台)的平台可组合成二维、三维、四维、五维、六维的多维平台,满足不同方向和不同角度的调整特色:精度高、重复性好、性能可靠稳定、配套功能齐全。
中文产品可按圖設計,
負重8kg,15kg,30kg,40kg.........
YYKJ-DW--8kg
YYKJ-DW--15kg
YYKJ-DW--30kg
YYKJ-DW--40kg
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